工作原理

Alicat層流壓差式質(zhì)量流量計(jì)與高可調(diào)比的電磁比例閥結(jié)合，再配合高效率的PID控制算法，組成氣體質(zhì)量流量控制-反饋回路，實(shí)現(xiàn)氣體質(zhì)量流量的監(jiān)控，這就是Alicat MFC的工作原理。

除了質(zhì)量流量控制模式，Alicat MFC還可以切換到體積流量控制器模式，壓力（絕壓或表壓）控制模式，在對(duì)應(yīng)的控制模式下可以實(shí)現(xiàn)不同參數(shù)變量的控制。

主要特點(diǎn)

Alicat 質(zhì)量流量控制器具有以下特點(diǎn)：

1.響應(yīng)快：特殊的結(jié)構(gòu)和工作原理，最快可達(dá)到100ms響應(yīng)，響應(yīng)時(shí)間與實(shí)際工況和PID參數(shù)設(shè)置有關(guān)，可通過調(diào)節(jié)PID值改變響應(yīng)速度和流量穩(wěn)定度。

2.無需預(yù)熱：上電即可使用，無需提前預(yù)熱，節(jié)省了等待時(shí)間。

3.多參數(shù)測(cè)量/控制：內(nèi)置溫度、壓力傳感器，可同時(shí)顯示氣體壓力、溫度、質(zhì)量流量、體積流量等多種參數(shù)，可選擇控制質(zhì)量流量、體積流量或壓力。如果選配了累計(jì)流量功能，還可以控制批量氣體累計(jì)流量。

4.背光液晶屏：具有單色或彩色液晶屏，帶屏幕背光燈，可以更直觀的查看實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)，方便讀數(shù)和調(diào)試。

5.支持上百種氣體：內(nèi)置100多種氣體的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)，切換氣體模式后即可測(cè)量/控制不同氣體，無需換算或重新校準(zhǔn)。

6.通訊和操作模式：有多種數(shù)字通訊和模擬信號(hào)模式可供選擇，以便采集和記錄數(shù)據(jù)，也有面板按鍵可手動(dòng)操作調(diào)試。

7.精度：普通精度為±（0.8%讀數(shù)+0.2%量程）；高精度為±（0.4%讀數(shù)+0.2%量程）。

8.量程：量程范圍寬，可定制。常規(guī)流量計(jì)最小量程為0~0.5SCCM，最大量程為0~5000SLPM。量程比200:1。

型號(hào)系列

Alicat質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品有多種不同系列，以滿足不同客戶和應(yīng)用的需求。

典型應(yīng)用

1. 氣體混合、稀釋，標(biāo)準(zhǔn)氣體發(fā)生器流量控制。常用型號(hào)：MC, MCR, MCS, Basis。

2. 大氣采樣儀、分析儀器氣體流量控制。常用型號(hào)：MC，MCS，MCR。

3. 燃燒控制，火焰溫度控制。常用型號(hào)：MC, MCR, MCRW, Basis。

4. 氮化爐、多用爐內(nèi)氣氛控制。常用型號(hào)：MCR，MCRS，LCS。

5. 光伏制造，多晶硅爐氣氛控制。常用型號(hào)：MCH，MCR。

6. 生物發(fā)酵罐氣氛控制。常用型號(hào)：MC，Basis。

7. 新能源、燃料電池測(cè)試系統(tǒng)。氣體流量或壓力控制。常用型號(hào)：MC, MCR, PCR。

8. 光纖制造。常用型號(hào)：MC。

9. 泄漏檢測(cè)。常用型號(hào)：MC，MCW，MCD。

10. 真空鍍膜。常用型號(hào)：MC，MCV。

11. 高壓應(yīng)用。常用型號(hào)：MCQ。

選型參數(shù)

為了選擇適合你應(yīng)用的質(zhì)量流量控制器，我們需要確定以下參數(shù)。

如果您有應(yīng)用或選型方面的疑問，歡迎聯(lián)系我們，我們誠摯的希望可以幫到您！